在半導體制造領域，溫控設備是確保工藝精度和產品質量的關鍵環節。近年來，隨著半導體產業加速向中國市場轉移，國內涌現出了一批專注于溫控設備的供應商。其中，安徽中科新源半導體科技有限公司（以下簡稱“中科新源”）憑借其在熱電型半導體溫控系統領域的技術創新和產品迭代，逐漸成為行業的佼佼者。在SEMICON CHINA 2025的展會現場，集微網有幸采訪到中科新源CEO熊繹，并一起就公司產品優勢、全球市場布局等話題進行了深入交流。

高精度溫控：半導體制造的“隱形英雄”

相比傳統的壓縮型和熱交換器型溫控設備，熱電型半導體溫控設備憑借更高的精度和靈活性，更能滿足半導體制造過程中的高精度控制需求。據行業專家預測，熱電型溫控設備有望在未來幾年成為增長最快的半導體溫控設備類型。

中科新源成立于2017年11月，專注于半導體應用領域的熱電溫控系統產品的研制。公司成立次年就推出了Z-3000/Z-6000和ZMO-500系列直冷機。截至目前，中科新源已形成覆蓋半導體、5G通信、車載三大領域的熱電溫控產品矩陣，受到眾多國內外客戶的青睞和復購。

中科新源的產品具有高集成、高性能、低成本、低功耗、易安裝等特色。以Z-6000半導體直冷機為例，該設備采用高集成度設計，擁有更便捷的故障排除和整機更換技術，主要適用于半導體晶圓廠的刻蝕（Etch）、化學氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）工藝制程。

“Z-6000不僅響應快、綠色環保（無氟利昂、無噪音），還具備高精準度（控溫精度±0.1℃）和高可靠性（MTBF＞5）等特性。”中科新源創始人兼CEO熊繹在接受采訪時表示，“此外，Z-6000還是市面上體積最小的制冷機，功耗優勢顯著，較傳統壓縮機溫控系統平均節能約80%。”

據熊繹介紹，采用Z-6000半導體直冷機替代傳統方案，可為客戶平均每年節省電費約3.5萬元人民幣，2至2.5年節省的費用足以購買一臺全新的直冷機。

再以一體式通信機柜直冷機ST-1500為例，該設備主要面向數控機床、通訊設備等場景，具有高集成、高可靠、高效節能、精準溫控、易安裝等特點。根據上海鐵塔轄屬某基站實測數據，在春、秋季，針對普通中小型機柜，該產品在確保機柜內設備正常運行的前提下，月耗電量約為50kWh/臺，即全年總耗電量約為1300kWh/臺。比普通常規空調相比，每年可節省用電成本46%，相當于減少碳排放1噸/臺，有效提升能源利用效率。

事實上，如上特性在中科新源旗下產品中廣泛存在，且能針對不同的場景，為客戶帶來可觀的降本增效效應。

創新驅動：持續的技術突破

隨著以AI為代表的科技產品需求帶動本土半導體國產化率提升，中科新源亦呈現陸續加大資本支出之勢，促進產品和工藝的創新。僅2024年，公司就提交了10項發明專利申請，該年度獲授權3項發明、2項實用新型專利，累計獲授權專利達56項。

“公司專注于提升產品技術含量與差異化，保持在核心技術上的領先優勢。”熊繹表示，其多項創新成果近期陸續取得突破性進展。例如，CP Test低溫段直冷機K-245和5G通信空調均于2024年Q1開啟項目導入，至2024年Q3即實現Beta版本量產交付；高功率光模塊測試系統C-800和多模智能信號控制器D-1000均于2024年Q2開啟項目導入，至2024年Q4即實現Beta版本量產交付。

得益于高性能、低功耗等特性，中科新源部分創新成果將于2025年進入爆發式收獲期。根據廠家披露數據，對標德國Huber低溫段壓縮機的超低溫直冷機，預計2025年交付量是2024年的5-10倍；TEC溫控系統等產品也將實現大批量交付。

全球布局：做精密溫控領航員

中科新源近年來業績持續快速增長，這既得益于中國本土企業的支持，也離不開國際企業的助力。其大功率半導體制冷設備不僅得到士蘭微、英諾賽科、華虹宏力、華潤微電子、斯達半導、偉測科技等本土企業的采用，也廣受臺積電、SSMC、英飛凌、意法半導體、SilTerra、PSK等國際公司的青睞。

自2021年開始進軍國際市場以來，截至2024年末，中科新源產品已銷售至美國、新加坡、意大利、馬來西亞等多個國家和地區，產品獲海內外客戶一致好評，并被中國半導體投資聯盟授予“國際市場先鋒獎”。

為構筑其全球化布局，中科新源在中國合肥總部中心的基礎上，2023年在美國華盛頓卡默斯設立集研發、生產、銷售、技術支持于一體的研發和制造中心，2024年又在新加坡設立技術服務中心，以更好服務全球客戶。

根據計劃，中科新源將于2025年深化全球戰略布局，并重點開拓東南亞和美國市場。據熊繹介紹，極低的碳排放成效及顯著的COO（Cost of Ownership）優勢是中科新源產品廣受國際大客戶青睞的重要原因。例如，Z-3000/6000在節能減碳指標上達成ROI<1.5年，受到SSMC大批量復購；Z-6000經STMicro驗證后，被大量應用于新加坡、意大利、中國等地工廠；Z-3000/6000也在GlobalFoundries驗證后，進入該公司位于新加坡、德累斯頓、美國等地的工廠，預計相關產品今年交付量同比大幅增長。

未來展望：綠色創新與全球擴張

與此同時，中科新源還將在技術創新、產能提升、人才引進等三個方面加碼全球化布局。公司將積極推進AI智能溫控系統研發，繼續引領行業技術變革；加速智能化生產線建設工作，從質量和效率兩個維度提升公司產品競爭力；同時吸納海內外高端研發人才，為公司的研發創新及產品品質保駕護航。

在新的一年里，中科新源一方面將繼續進行綠色產品創新，加大研發力度，開發新一代更加節能的產品與技術方案，力爭在節能設備及低功耗應用領域實現新的突破；另一方面將積極進行供應鏈綠色轉型，在全球供應鏈布局中，全面推進綠色技術與環保措施，確保供應鏈的每一個環節都超越可持續發展的要求標準，同時助力上下游企業共同實現綠色轉型目標。

在剛剛落幕的SEMICON China 2025展會上，中科新源向外界展示了大功率半導體直冷機Z-3000及Z-6000、半導體恒溫槽ZMO-600、光模塊熱電溫控系統C-800、超低溫直冷機S-265以及一體式通信機柜直冷機ST-1500等全系列自研熱電溫控創新解決方案及尖端技術成果。

展望未來，熊繹表示：“公司將持續擴大產品的全球化市場占有率，力爭成為全球精密溫控系統引領者。”