在過去幾年里，包括光刻機和刻蝕機在內的半導體制造設備廣為人知。但其實作為全球精密制造的巔峰之作，芯片制造流程非常多，涉及的設備也包羅萬象。例如，爐管設備就是芯片制造設備中不可或缺的一環。

爐管主要用于集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等領域的芯片制造。從形態上看，爐管則基本可分為臥室爐、立式爐和快速升溫爐三種。其中，立式爐因為其占地面積更小，并且可以更好地控制溫度，成為一種用途廣泛的高效加熱設備。

作為一家涉足半導體設備領域50多年的公司，ASM提供了極具競爭力的立式爐管解決方案。

在立式爐管領域深耕50多年

資料顯示，半導體設備公司ASM于1968年成立于荷蘭，已經在全球15個國家及地區建立了分部。其產品涵蓋原子層沉積（ALD）、化學氣相沉積（CVD）、Si和外延（Epitaxy）等多個領域。至于立式爐管，則是ASM自20世紀70年代初以來，一直深耕的設備領域。

在今年的SEMICON China上，ASM企業總監、爐管產品線負責人Maarten Teepen接受了半導體行業觀察的采訪，分享了他對于立式爐管的見解。

ASM企業總監、爐管產品線負責人

Maarten Teepen

立式爐管的主要優勢之一，在于可以采用批量處理配置，能夠同時批量處理晶圓。“得益于這一設計，立式爐管帶來了顯著的經濟效益，它提高了單位時間內機臺能夠處理晶圓的數量，使得單片晶圓的生產成本得以降低。因此，立式爐管不僅能夠實現高質量的薄膜沉積，還可在保證生產效率的同時節約成本。”Maarten Teepen解析說。

據Maarten Teepen介紹，ASM的立式爐管方案有助于滿足芯片生產中對生產效率和成本效益的更高要求。例如，ASM的立式爐管設備采用了雙腔體設計，進一步提升了生產效率。

賦能More-than-Moore市場

隨著對功率器件、IGBT和電動汽車需求的不斷增加，More-than-Moore（MtM）市場對相關沉積技術的需求也隨之上升。自2020年以來，ASM擴展其立式爐管產品組合，以滿足MtM市場快速增長的需求。

Maarten Teepen告訴半導體行業觀察，ASM目前在立式爐管領域主要提供兩條產品線：A400 DUO和SONORA。

其中，A400 DUO是面向8英寸及以下晶圓（即200mm及以下更小尺寸晶圓）處理的立式爐管解決方案。其反應器采用雙舟設計，最大化吞吐量，同時極大減少維護需求，適合大批量生產。

從Maarten Teepen的介紹我們得知，A400 DUO的歷史可以追溯到1993年，當時ASM推出了首款立式爐管設備A400。經過多年的持續創新，ASM在2020年對其進行了全面升級，推出了A400 DUO。據介紹，新設備采用了全新的軟件系統、硬件架構和反應器技術。

至于SONORA立式爐管，則是ASM最新一代面向12英寸晶圓處理（即300mm晶圓）的立式爐管解決方案，專為需要兼顧成本、效益、性能的MtM應用而設計，助力提升MtM功率器件的生產效率。

“ASM的立式爐管反應器具備許多獨特能力。得益于獨特的反應器設計，我們的產品在硅基沉積市場獲得了客戶的廣泛認可。”Maarten Teepen補充說。

未來發展

在問到未來的發展方向時，Maarten Teepen強調，ASM聚焦于薄膜沉積領域和反應器技術。公司目前也正在推動許多新的產品和技術發展，包括化學工藝、反應器設計，以及對溫度和工藝控制的改進等。在他看來，這些領域，有大量的創新正在發生，提高對工藝結果的可預測性。

“通過選擇性增長策略，ASM將持續擴展立式爐管的產品組合。在中國，立式爐管技術為功率器件、IGBT和電動汽車市場的增長提供了支持。”Maarten Teepen最后說。

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