在過去幾年里，包括光刻機和刻蝕機在內(nèi)的半導(dǎo)體制造設(shè)備廣為人知。但其實作為全球精密制造的巔峰之作，芯片制造流程非常多，涉及的設(shè)備也包羅萬象。例如，爐管設(shè)備就是芯片制造設(shè)備中不可或缺的一環(huán)。

爐管主要用于集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等領(lǐng)域的芯片制造。從形態(tài)上看，爐管則基本可分為臥室爐、立式爐和快速升溫爐三種。其中，立式爐因為其占地面積更小，并且可以更好地控制溫度，成為一種用途廣泛的高效加熱設(shè)備。

作為一家涉足半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域50多年的公司，ASM提供了極具競爭力的立式爐管解決方案。

在立式爐管領(lǐng)域深耕50多年

資料顯示，半導(dǎo)體設(shè)備公司ASM于1968年成立于荷蘭，已經(jīng)在全球15個國家及地區(qū)建立了分部。其產(chǎn)品涵蓋原子層沉積（ALD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、Si和外延（Epitaxy）等多個領(lǐng)域。至于立式爐管，則是ASM自20世紀(jì)70年代初以來，一直深耕的設(shè)備領(lǐng)域。

在今年的SEMICON China上，ASM企業(yè)總監(jiān)、爐管產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人Maarten Teepen接受了半導(dǎo)體行業(yè)觀察的采訪，分享了他對于立式爐管的見解。

ASM企業(yè)總監(jiān)、爐管產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人

Maarten Teepen

立式爐管的主要優(yōu)勢之一，在于可以采用批量處理配置，能夠同時批量處理晶圓。“得益于這一設(shè)計，立式爐管帶來了顯著的經(jīng)濟效益，它提高了單位時間內(nèi)機臺能夠處理晶圓的數(shù)量，使得單片晶圓的生產(chǎn)成本得以降低。因此，立式爐管不僅能夠?qū)崿F(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積，還可在保證生產(chǎn)效率的同時節(jié)約成本。”Maarten Teepen解析說。

據(jù)Maarten Teepen介紹，ASM的立式爐管方案有助于滿足芯片生產(chǎn)中對生產(chǎn)效率和成本效益的更高要求。例如，ASM的立式爐管設(shè)備采用了雙腔體設(shè)計，進(jìn)一步提升了生產(chǎn)效率。

賦能More-than-Moore市場

隨著對功率器件、IGBT和電動汽車需求的不斷增加，More-than-Moore（MtM）市場對相關(guān)沉積技術(shù)的需求也隨之上升。自2020年以來，ASM擴展其立式爐管產(chǎn)品組合，以滿足MtM市場快速增長的需求。

Maarten Teepen告訴半導(dǎo)體行業(yè)觀察，ASM目前在立式爐管領(lǐng)域主要提供兩條產(chǎn)品線：A400 DUO和SONORA。

其中，A400 DUO是面向8英寸及以下晶圓（即200mm及以下更小尺寸晶圓）處理的立式爐管解決方案。其反應(yīng)器采用雙舟設(shè)計，最大化吞吐量，同時極大減少維護(hù)需求，適合大批量生產(chǎn)。

從Maarten Teepen的介紹我們得知，A400 DUO的歷史可以追溯到1993年，當(dāng)時ASM推出了首款立式爐管設(shè)備A400。經(jīng)過多年的持續(xù)創(chuàng)新，ASM在2020年對其進(jìn)行了全面升級，推出了A400 DUO。據(jù)介紹，新設(shè)備采用了全新的軟件系統(tǒng)、硬件架構(gòu)和反應(yīng)器技術(shù)。

至于SONORA立式爐管，則是ASM最新一代面向12英寸晶圓處理（即300mm晶圓）的立式爐管解決方案，專為需要兼顧成本、效益、性能的MtM應(yīng)用而設(shè)計，助力提升MtM功率器件的生產(chǎn)效率。

“ASM的立式爐管反應(yīng)器具備許多獨特能力。得益于獨特的反應(yīng)器設(shè)計，我們的產(chǎn)品在硅基沉積市場獲得了客戶的廣泛認(rèn)可。”Maarten Teepen補充說。

未來發(fā)展

在問到未來的發(fā)展方向時，Maarten Teepen強調(diào)，ASM聚焦于薄膜沉積領(lǐng)域和反應(yīng)器技術(shù)。公司目前也正在推動許多新的產(chǎn)品和技術(shù)發(fā)展，包括化學(xué)工藝、反應(yīng)器設(shè)計，以及對溫度和工藝控制的改進(jìn)等。在他看來，這些領(lǐng)域，有大量的創(chuàng)新正在發(fā)生，提高對工藝結(jié)果的可預(yù)測性。

“通過選擇性增長策略，ASM將持續(xù)擴展立式爐管的產(chǎn)品組合。在中國，立式爐管技術(shù)為功率器件、IGBT和電動汽車市場的增長提供了支持。”Maarten Teepen最后說。

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