近日，廣東星空科技裝備有限公司（以下簡稱“智慧星空”）宣布完成超8億元戰略融資。本次融資由浦東科創集團及海望資本領投，國投（廣東）科技成果轉化基金等多家機構跟投。本輪融資后，其注冊資本從1.97億元增至2.94億元，增幅達49%，創下國內半導體裝備領域年度單筆融資新高。其中，浦東科創集團及旗下基金海望資本出資近3億元。

據企查查顯示，智慧星空2021年成立于廣州，同年在上海浦東成立了智慧星空（上海）工程技術有限公司，創始人賀榮明是中國光刻機之父。他曾任職上海微電子裝備有限公司（又稱“SMEE”），帶領團隊造出國內首臺光刻機；完成歷史使命后，他再度創業，聚焦半導體器件專用設備、精密制造裝備領域。

隨著智慧星空技術研發創新，市場快速布局，公司的產業化進程也在加速。去年，智慧星空總部及高端裝備產業化基地項目在浦東落地，成為去年浦東10個重大科技產業項目之一。在吸金能力上，集聚騰訊投資、海望資本、浦東科創集團、國投創業、中信金石等知名投資機構，陣容豪華。

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中國光刻機之父二次創業

曾造出國內首臺光刻機

在創立智慧星空之前，賀榮明在半導體裝備行業就頗負盛名。

賀榮明在上海微電子工作

1985年，賀榮明畢業于同濟大學機械工程管理系。80年代的大學生，身上有著天然的責任感和報國情懷，他也不例外。畢業后，他先是進入原上海機電工業管理局，從事國外技術的引進工作 ，后又進入上海電氣（集團）總公司（以下簡稱“上海電氣”）。2002年，時任上海電氣執行副總裁的他受上級委派，在浦東張江組建上海微電子裝備有限公司，開啟了在半導體領域的創業之路。

在賀榮明的帶領下，一批年輕科技人員集聚到張江，開始了“造中國人自己光刻機”的歷程。彼時，國內的半導體行業相對落后，更不必說造光刻機這種高技術壁壘裝備，無論是專業人員還是配套的零件供應鏈，都讓賀榮明無從下手。

為實現核心技術自主可控的研發目標，一方面，賀榮明深入研究國際大型復雜工程項目的管理條例，將先進經驗與光刻機的研發結合，堅持用產品化、工程化的方式進行研發；另一方面，他重視創新，有效運用創新實踐解決多項實際問題。

時間來到2007年，經過賀榮明及其團隊多年努力，首臺國產光刻機成功曝光；2009年，自主設計、制造和集成的國內首臺100納米投影光刻機樣機研制取得成功，使國內高端光刻機的水平有了重大突破，并為國家02科技重大專項高端光刻機項目的持續實施奠定了良好基礎；2010年，推出先進封裝光刻機，國內市場占有率超80%，同時占領了33%的國際市場。在全世界為數不多的光刻機廠商名單中，第一次出現了中國企業名字：SMEE，并成功進入蘋果供應鏈。

2021年，功勛卓著的他選擇進行人生第二次創業，聚焦半導體器件專用設備、精密制造裝備領域，創立了智慧星空。

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聚焦半導體器件專用設備、精密制造裝備領域

產品填補國產高端測試裝備空白

作為國產光刻機的核心操盤手，賀榮明的第二次創業仍聚焦于“國之重器”，將在光刻機研發中積累的精密機械、運動控制技術延伸至半導體檢測、封裝設備。

智慧星空由國內外長期從事大型裝備與儀器設計、開發、集成及銷售的高層次人才團隊發起組建，以精密機械、精密光電、精密運動、精密控制以及復雜軟件為核心技術，研制半導體、泛半導體、精密制造、新能源、生物醫藥等領域的創新裝備。

目前，智慧星空的產品主要有光刻設備、自動鍵合設備、納米壓印設備、量測設備等半導體重要設備，填補國產高端測試裝備空白。

光刻設備

其中，在光刻機設備上，智慧星空自主研發創新型整面曝光機，適用于高端顯示、封裝基板、先進封裝等領域的Micro-LED大面積曝光、封裝基板大面積曝光和扇出大芯片曝光。

納米壓印設備

智慧星空的納米壓印設備具備自動對焦、自動壓印能力，可應用于玻璃母模、扇出壓印、微透鏡陣列、光波導鏡片、MEMS等領域。

自動鍵合設備

由智慧星空自主研發的iCB系列自動芯片鍵合設備與iAB系列自動晶圓鍵合設備，可實現芯片與芯片（晶圓）、晶圓與晶圓鍵合。iCB系列產品適用于紅外傳感器、MicroLED、Chiplet；iAB系列產品則適用于晶圓級MEMS封裝鍵合、3D IC鍵合、CIS封裝鍵合等應用。

量測設備

在量測設備上，智慧星空自主研發的i3D系列非接觸式光學面形檢測設備與iFM系列芯片位置測量設備，可實現旋轉對稱光學元件3D形貌的超精密、高速測量與高精度樣品圖案位置信息的測量。i3D適用于透明與非透明、光滑與粗糙等多種表面類型的檢測分析；iFM可應用于測量重構片位置、光罩圖案位置等。

可以預見，隨著國內半導體行業進入高速發展期，依托在光刻、鍵合、量測及納米壓印四大產品線的產品矩陣，智慧星空的業務將迎來快速發展。

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投資6.5億元落子康橋

成為浦東10個重大科技產業項目之一

公開信息顯示，智慧星空近日完成融資金額合計超8億元，其中，領投方浦東科創集團及海望資本聯合出資近3億元，在總投資額中占比近三分之一。

作為上海地方國資平臺的浦東科創集團，為何會選擇投資位于廣州的智慧星空？這需回溯至智慧星空創立前的淵源——早在企業籌備階段，創始人賀榮明任職上海微電子董事長期間，浦東科創集團就已對其技術背景和行業洞察保持持續關注，并建立了良好的溝通渠道。

在賀榮明創立智慧星空沒多久后，企業便面臨產能擴張與業務整合的迫切需求，亟需匹配半導體設備生產的專業化工業用地。正當企業為拿地問題焦灼之時，浦東科創集團主動介入，招引企業在浦東落地，并幫助企業申請相關政策。

從土地選址、政策申報到產線建設，浦東科創集團全程參與資源對接，助力智慧星空快速完成上海浦東基地的產能布局。2024年12月，浦東新區重大產業及配套項目開工儀式盛大舉行，智慧星空便是十個重大科技產業項目之一。值得一提的是，開工儀式就在智慧星空總部及高端裝備產業化基地項目建設工地上舉行，足以見得浦東對該項目的重視程度。

開工儀式現場，賀榮明上臺發言

據了解，智慧星空總部及高端裝備產業化基地建設項目位于康橋工業區東區H05C-01地塊，占地面積約43畝，總投資約6.5億元，總建筑面積約6.7萬平方米。項目主要發展兩大類產品——人工智能芯片關鍵工藝高端裝備、生命科學先進科學儀器和研發設備，投產后預計可實現工業產值10億元。

隨著其浦東基地的全面投產，智慧星空將成為推動中國半導體中后道設備自主化的核心力量。

未來，智慧星空這家從上海微電子“基因鏈”中生長出的創新企業，將以技術為矛、以產業為盾，向著成為全球半導體設備領域的關鍵參與者加速邁進。